1）铝粉直接氮化法

ALN＋N2→2ALN将铝粉放入通有氮气与氨气的反应的反应炉中加热到600℃开始反应。我们就能合成大量纯度较高的ALN粉，目前有这种方式的大规模生产。但是这种方法一般难以得到颗粒微细、粒度均匀的氮化铝粉末，通常需要后处理。还有AL颗粒表面氮化后形成ALN层会阻碍氮气向颗粒的中心的扩散，因此采用这种方法转化率是一个重要的问题。

2）氧化铝的碳热还原法

Al203＋3C＋N2→2AlN＋3CO这种方法目前运用在工业生产中运用最为广泛，对其研究进行的比较深入。

在该法中制备氮化铝粉体中常加入氧化钙、氟化钙、氧化钇等作为催化剂，其中加氟化钙更有效的降低活化能，提高反应速率。这种制备的氮化铝粉末纯度高，成形和烧结性能好，但合成温度高反应时间长，粉末粒度较大。

这边需要说明下，如果有懂得金丝键合工艺的小伙伴就比较清楚，表面较为粗糙的有颗粒状明显的氮化铝，如果使用这类的氮化铝溅射薄膜金属，打线时是不太容易键合上的，特别是球焊工艺，很容易出现脱焊状况。